NewWay公司非接触式多孔空气轴承获专利

    作为世界上最大的多孔介质空气轴承产品独立制造商，NewWay空气轴承公司日前宣布其非接触式多孔空气轴承和镜片修平装置已经获得美国专利号为7,908,885-B2的授权。

    镜片厚度的变化误差已成为更高一级光刻解决方案进行更清晰展示的限制性因素，因而，这种新方法可以降低工具的要求并提供更高的光刻方案。

    该技术还可以提供：

    表面加工前即可进行粘性清除

    消融中，将工业废气或微粒隔离

    镜片修平与粘结层预先涂层中的气温、湿度以及氧气水平密切相关联。

    NewWay空气轴承公司运用其空气轴承技术将气压均匀分布于成千上万个空气管表面，以此承载上千公斤的载荷。同时，真空孔和沟槽组件可提供几十公斤的气压，这足以将玻璃修平来抵抗气体膜，并将之置于安全部位。这样，随着非接触式精密区形成，最为平整的镜片表面也加工完成。